PECVD Forn

1.Type:1200 grad Slider-type Dual Zone PECVD Sistema
2. Numru tal-fażi:Fażi waħda
3.Thermocouple Tip:K tip
4.Mudell:TOB-DSP-1200 grad -PECVD
5.MOQ:1set

Ibgħat l-inkjesta

Chat Now

Introduzzjoni tal-Prodott

1200 grad Slider Tip Doppju Żona PECVD Sistema

Speċifikazzjoni

Mudell	TOB-DSP-1200 grad -PECVD-I	TOB-DSP-1200 grad -PECVD-II		TOB-DSP-1200 grad -PECVD-III	TOB-DSP-1200 grad -PECVD-IV
Qawwa	3KW	3KW		4KW	4KW
Daqs tat-tubu tal-forn (mm)	Dia 60(OD) X1800mm	Dia 80(OD) X1800mm		Dia 100(OD) X1800mm	Dia 120(OD) X1800mm
Dimensjoni	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Vultaġġ tal-provvista tal-enerġija	220V
Numru tal-fażi	Fażi waħda
Mod ta 'kontroll	Kontroll tat-temperatura Yudian 30 sezzjoni jistgħu jużaw biss ir-regolazzjoni tat-temperatura PID. Kontroll tat-temperatura FP93 (mill-Ġappun) (Ibdel l-istrumenti importati, bi ħlas addizzjonali) Kontroll tat-temperatura tal-programm ta '1,40 sezzjoni jista' jinqasam fi programm ta 'grupp 4,2,1, jekk il-programm huwa maqsum f'erba' gruppi, kull segment tal-programm 10, 2,6 grupp ta 'kontroll PID, temperatura baxxa, medja u għolja tista' kull waħda b'sett ta 'PID, b'tali mod li kull segment ikun kapaċi jikkontrolla t-temperatura huwa preċiż ħafna.
Modalità ta 'kontroll tat-temperatura	PID Intelliġenti
Protezzjoni u wiri tal-burnout	Iva
Protezzjoni minn temperatura żejda	Iva
Protezzjoni ta 'kurrent żejjed	Iva
Kontroll ta 'preċiżjoni	+/- 1 grad
Trigger	Trigger tal-bidla tal-fażi
SCR	106 / 16E Il-Ġermanja Simon Kang
It-temperatura massima taż-żona tat-temperatura 1.2	1200 grad
Iż-żona tat-temperatura 1.2 Temperatura nominali	1150 grad
Rata tat-tisħin	Inqas minn jew ugwali għal 30 grad / Min (Disponibbli fuq talba għall-modifika)
Rata ta 'tisħin rakkomandata	Inqas minn jew ugwali għal 15-il grad / Min
Termokoppja Tip	Tip K
It-tul tat-tisħin taż-żona tat-temperatura 1.2	205mm
Temperatura tal-wiċċ tal-madwar	Inqas minn jew ugwali għal 45 grad
Qawwa RF tal-plażma	Firxa tal-ħruġ tal-enerġija		0-500W
	Qawwa massima riflessa		10W
	Frekwenza tas-sinjal		13.56MHZ ± 0.005%
	Storbju		<30 dB
	Tkessiħ bl-arja		metodu ta 'tkessiħ
	Qawwa tad-Dħul		208-240V 50 / 60HZ
Parametri ewlenin tas-sistema tal-provvista GX	Firxa standard		Kontrollur tal-fluss tal-protoni 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (tista 'tagħżel kwalunkwe skala)
	Eżattezza		± 1.5%
	Waqgħa fil-pressjoni		<0.01MPa
	Ripetibbiltà		± 0.2% F.S
	Max Pressjoni operattiva		3MP
VS-0.1 sistema tal-egżost	provvista ta 'enerġija		220V / 380V 380W
	Ir-rata tal-ippumpjar		2L / S
	Gauge tal-vakwu tar-reżistenza		ZDR-I
	Firxa tal-kejl tal-vakwu		0.1-10 5 Pa
	Pompa tal-vakwu		VRD-8
	Pajp korrugat		KF25X1000mm
	Sistema tal-vakwu		10 -1Pa